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洁净室回风形式有哪些?

  • 文章出处:Admin
  • 阅读量:8
  • 发表时间:2026-10-21 09:29:30
很多客户在规划洁净车间方案时,都会关心送风与回风系统的设计,回风形式选择是否合理,直接影响车间气流组织、洁净度稳定性以及后期运行能耗。洁净室回风方案,需要结合洁净等级、车间布局、产尘特点来匹配。


洁净车间


按照气流流型区分,洁净室回风主要分为单向流回风、非单向流回风两大类:

一、百级及以上垂直单向流洁净室回风形式
百级及以上等级多采用垂直单向流,常见两种回风方案:
1.  高架地板回风 :地板带有通风百叶,气流自上而下穿过工作面,经由高架地板回风夹层回流,气流均匀稳定,是高端半导体、精密光学工位常用方案。
2.  侧墙下部回风 :在洁净室墙体低位布置回风口,适配单向流工况,相比高架地板,改造投入更低一些。

二、千级及以下非单向流洁净室回风形式
千级、万级、十万级这类非单向流洁净室,依靠洁净送风稀释室内微粒,回风形式选择更丰富:
-  顶送下回 :顶部 FFU 送风,低位集中回风;
-  顶送侧下回 :顶部送风,回风口布置在墙体下部,这种形式气流组织效果好,兼顾施工成本与洁净效果,目前应用比较广泛;
-  侧送侧回 :送风口、回风口都布置在侧墙,适合层高受限、不方便顶部布置 FFU 的车间;
-  顶送顶回 :送风口和回风口都安装在顶部,一般多用于产尘量小、改造空间有限的场景,使用有一定限制。

补充说明
没有哪一种回风形式可以适配所有项目。在方案设计阶段,工程师会综合洁净等级、车间层高、产尘量、设备摆放位置、预算等因素选型。合适的回风设计,能够减少涡流死角,稳定车间压差,保障洁净指标长期达标。
如果你正在规划模块化超净间、洁净棚或者整套净化车间,可以根据现场工况定制送风回风方案。