无尘室中的 FFU,全称是Fan Filter Unit(风机滤网机组),是洁净室中提供洁净空气的核心设备,相当于 “自带动力的高效过滤器”,广泛应用于百级、千级、万级、十万级等不同洁净度等级的无尘室。

FFU 主要由三部分组成:
- 风机系统:通常是小型离心风机或轴流风机,提供稳定的送风动力;
- 高效过滤器(HEPA)或超高效过滤器(ULPA):过滤空气中的微粒(HEPA 可过滤≥0.3μm 微粒,效率≥99.97%;ULPA 可过滤≥0.12μm 微粒,效率≥99.999%);
- 箱体与静压箱:风机产生的气流经静压箱缓冲后,均匀通过过滤器,形成洁净气流送出。
工作时,FFU 从顶部或侧面吸入环境空气,经过滤器过滤后,向洁净室送出洁净空气,持续稀释或置换室内污染物,维持区域洁净度。
- 提供洁净空气:通过高效过滤,直接向工作区域输送达标洁净空气,是局部高洁净度(如百级工作台、光刻区)的 “核心保障”;
- 灵活控制气流:可根据需求调整风机转速(部分 FFU 带变频功能),控制送风量和风速,适配不同洁净等级(如百级区风速需≥0.3m/s,千级区可适当降低);
- 模块化布局:单个 FFU 尺寸通常为 1175×575mm、1175×1175mm 等,可像 “拼积木” 一样组合安装,适合不同面积的洁净区,后期扩容或改造也方便;
- 降低系统复杂度:传统洁净室依赖集中式空调送风,而 FFU 自带风机,可减少大型风管设计,尤其适合层高有限或改造项目。
- 高洁净度区域:半导体光刻间、芯片封装区、精密仪器组装台等(需 ULPA 过滤器,配合单向流设计);
- 局部洁净需求:在万级或十万级洁净室中,通过 FFU 搭建 “洁净棚”,为关键工序(如电子元件检测)提供局部百级 / 千级环境;
- 灵活改造项目:旧厂房洁净室改造时,FFU 可快速安装,减少对原有建筑结构的改动。
- 定期维护:过滤器需定期检测(如完整性测试),堵塞或失效后及时更换,否则会影响洁净度;
- 风速均匀性:多个 FFU 并列安装时,需调试风速一致(偏差≤10%),避免气流干扰形成涡流;
- 与环境适配:FFU 运行会产生一定噪声(约 50-65dB),需结合车间降噪要求选型;同时,其风机散热可能影响室温,需与空调系统协同设计。
简单来说,FFU 是无尘室中 “精准控污” 的 “小能手”,通过高效过滤 + 灵活送风,让洁净度控制更高效、更可控。